仪器名称：光谱椭偏仪
放置地点：8A-305

联系人：褚立强

E-mail：chuliqiang@tust.edu.cn

功能简介：光谱椭偏仪是一种基于偏振光与材料相互作用，通过分析光束偏振态的变化来无损、精确测量薄膜厚度与光学常数的高精度表征仪器。