仪器名称：柔性微电子制备仪

规格型号：Scientific 3

放置地点：泰达8C-202

联系人：韦会鸽

E-mail：huigewei@tust.edu.cn

功能简介：该制备仪专为柔性微电子器件研发与生产设计，集成涂覆、光刻、封装等核心工艺模块。采用高精度控温、精准定位技术，支持柔性基底的多功能加工，适配多种材料体系。设备操作智能、流程可控，能实现微纳结构的高效制备，满足实验室研发与小批量生产需求，为柔性微电子技术产业化提供稳定可靠的制备支撑。