仪器名称：原子层沉积系统

规格型号：3060307

放置地点：8B-305

联系人： 王松博

邮箱： wangsongbo@tust.edu.cn

功能简介：原子层沉积系统是高精度薄膜制备设备，通过交替通入前驱体与反应气体，利用表面化学吸附与反应实现单原子层可控生长，薄膜厚度均匀、纯度高且附着力强，能精准调控膜层组分与结构，广泛应用于半导体、新能源、微纳电子、光学器件等领域的高端薄膜制备。